共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板检测装置及基板检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911179851.6
申请日：
2014-04-24
公开(公告)号：
CN110794290B
公开(公告)日：
2020-02-14
发明(设计)人：
山下宗宽
申请人：
申请人地址：
日本国京都府京都市右京区西京极堤外町10番地
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
齐秀凤
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-14 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20140424 |
| 2022-04-12 | 授权 | 授权 |