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晶圆传送机械臂及晶圆传送方法
被引：0
申请号：
CN202211322661.7
申请日：
2022-10-27
公开(公告)号：
CN115394698B
公开(公告)日：
2022-11-25
发明(设计)人：
林坚
王彭
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-23 | 授权 | 授权 |
| 2022-11-25 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20221027 |