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一种真空控制系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210405325.9
申请日：
2012-10-22
公开(公告)号：
CN102903655B
公开(公告)日：
2013-01-30
发明(设计)人：
任大清
申请人：
申请人地址：
201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
代理人：
吴世华;林彦之
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-01-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101596326223 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012104053259 申请日:20121022 |
| 2013-01-30 | 公开 | 公开 |
| 2017-03-15 | 授权 | 授权 |