一种可拆卸晶圆直线滑轨

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720226780.0

申请日：

2017-03-09

公开(公告)号：

CN206532758U

公开(公告)日：

2017-09-29

发明(设计)人：

张鹏斌陈鲁刘涛马砚忠杨乐黄有为庞芝亮

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明街道高新区高新路11号研祥科技工业园机械厂房二楼西侧单元

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

郑州大通专利商标代理有限公司 41111

代理人：

陈勇

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-09	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:深圳中科飞测科技有限公司变更后:深圳中科飞测科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518109 广东省深圳市龙华区大浪街道大浪工业园路1号凯豪达广场办公室A区1618室变更后:518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
2017-10-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760621864 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2017202267800 变更事项:专利权人变更前:深圳中科飞测科技有限公司变更后:深圳中科飞测科技有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市光明街道高新区高新路11号研祥科技工业园机械厂房二楼西侧单元变更后:518109 广东省深圳市龙华区大浪街道大浪工业园路1号凯豪达广场办公室A区1618室
2017-09-29	授权	授权

共 50 条

[1]

可拆卸式晶圆传送盘 [P].

庞芝亮 ;

陈鲁 ;

刘涛 ;

马砚忠 ;

杨乐 ;

黄有为 ;

张鹏斌 .

中国专利 :CN206584906U ,2017-10-24

[2]

一种可拆卸晶圆清洗装置 [P].

李鹏 ;

王佳伟 ;

曹刚 .

中国专利 :CN223070038U ,2025-07-08

[3]

一种可拆卸滑轨结构 [P].

陈绍权 ;

鲍家富 .

中国专利 :CN220374258U ,2024-01-23

[4]

一种直线滑轨 [P].

余孝记 ;

陈建武 .

中国专利 :CN204828296U ,2015-12-02

[5]

一种可拆卸锁止滑轨 [P].

吴昊洋 .

中国专利 :CN215479564U ,2022-01-11

[6]

一种可拆卸式清洗圆梳 [P].

周心茹 .

中国专利 :CN208434882U ,2019-01-29

[7]

一种可拆卸圆梳 [P].

王斌 .

中国专利 :CN203194854U ,2013-09-18

[8]

一种定位基准可拆卸的晶圆运输盒 [P].

邱摩西 ;

何江波 ;

刘汝拯 ;

杨波 .

中国专利 :CN222281948U ,2024-12-31

[9]

一种晶圆可拆卸式修边载具 [P].

于政 ;

汪洋 ;

沈桂军 ;

许城城 ;

赵亚东 .

中国专利 :CN208189539U ,2018-12-04

[10]

一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡 [P].

徐立华 ;

严日东 .

中国专利 :CN212872578U ,2021-04-02

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