一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920304590.5

申请日：

2019-03-11

公开(公告)号：

CN209623647U

公开(公告)日：

2019-11-12

发明(设计)人：

叶瑞芳程方苏杭崔长彩余卿王寅

申请人：

申请人地址：

362000 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号

IPC主分类号：

G01B1127

IPC分类号：

代理机构：

厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204

代理人：

张松亭;林燕玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统 [P].

叶瑞芳 ;

程方 ;

苏杭 ;

崔长彩 ;

余卿 ;

王寅 .

中国专利 :CN109883362B ,2024-02-02

[2]

一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统 [P].

叶瑞芳 ;

程方 ;

苏杭 ;

崔长彩 ;

余卿 ;

王寅 .

中国专利 :CN109883362A ,2019-06-14

[3]

一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置 [P].

陈本永 ;

张恩政 ;

严利平 ;

杨涛 ;

周砚江 .

中国专利 :CN201413130Y ,2010-02-24

[4]

基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量方法 [P].

陈本永 ;

张恩政 ;

严利平 ;

杨涛 ;

周砚江 .

中国专利 :CN101581576A ,2009-11-18

[5]

基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置 [P].

陈本永 ;

张恩政 ;

严利平 ;

杨涛 ;

周砚江 .

中国专利 :CN101581577A ,2009-11-18

[6]

一种位移直线度测量的激光干涉系统 [P].

侯文玫 ;

乐燕芬 ;

句爱松 .

中国专利 :CN202274859U ,2012-06-13

[7]

一种长导轨直线度测量系统 [P].

郭履维 ;

李家树 ;

曾剑锋 .

中国专利 :CN223376550U ,2025-09-23

[8]

基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法 [P].

谢昊 ;

郭天太 ;

王浩 .

中国专利 :CN115451842A ,2022-12-09

[9]

用于位移直线度测量的激光干涉系统 [P].

侯文玫 ;

乐燕芬 ;

句爱松 .

中国专利 :CN104613902B ,2015-05-13

[10]

单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法 [P].

陈本永 ;

楼盈天 ;

严利平 ;

张恩政 .

中国专利 :CN106885535B ,2017-06-23

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