基板光学检测方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710182282.1
申请日
2007-10-11
公开(公告)号
CN101408572A
公开(公告)日
2009-04-15
发明(设计)人
张仁明 许贸雄 曾彦声 何国诚 杨璿 俞志杰 沈家麟 林瑞堉
申请人
申请人地址
中国台湾桃园龟山乡山顶村与邦路31之1号
IPC主分类号
G01R3100
IPC分类号
G01R31265 G01R31308
代理机构
上海新天专利代理有限公司
代理人
王敏杰
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
光学检测装置及光学检测方法 [P]. 
杨善 ;
龚士勋 ;
黄彦桦 .
中国专利 :CN119845149A ,2025-04-18
[2]
光学检测方法及光学检测装置 [P]. 
安浦雅人 ;
藤卷真 ;
芦叶裕树 ;
岛隆之 .
中国专利 :CN109154561B ,2019-01-04
[3]
光学检测装置及光学检测方法 [P]. 
王珂 .
中国专利 :CN109916597A ,2019-06-21
[4]
光学检测装置及光学检测方法 [P]. 
张凌宇 .
中国专利 :CN109901314A ,2019-06-18
[5]
光学检测装置及光学检测方法 [P]. 
周上杰 ;
江雅雯 .
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[6]
光学检测方法、光学检测装置及光学检测系统 [P]. 
安比卡帕亚鲁木鲁甘 ;
徐敏堂 ;
陆家樑 ;
方志恒 .
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[7]
光学检测装置及方法 [P]. 
黎育腾 ;
曲昌盛 ;
何贯睿 ;
贺培诚 ;
钟双兆 ;
范植训 ;
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[8]
一种光学检测装置及光学检测方法 [P]. 
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张乐 ;
宋志强 .
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[9]
一种光学检测装置及光学检测方法 [P]. 
颜圣佑 ;
朱志飞 ;
郭连俊 ;
许玉佩 .
中国专利 :CN107389696A ,2017-11-24
[10]
一种光学检测装置及光学检测方法 [P]. 
刘建宏 ;
张乐 ;
宋志强 .
中国专利 :CN113933268B ,2024-03-19