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缺陷检查方法及缺陷检查装置

被引：0
申请号：
CN202210198556.0
申请日：
2022-03-01
公开(公告)号：
CN115015281A
公开(公告)日：
2022-09-06
发明(设计)人：
小林信次 松田俊介
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
G01N21896
IPC分类号：
G01N2189
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
朱丹
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-09-06 公开 公开
共 50 条
[1]
缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P]. 
小林信次 ;
松田俊介 .
中国专利 :CN115015280A ,2022-09-06
[2]
缺陷检查方法和缺陷检查装置 [P]. 
小林信次 ;
松田俊介 .
日本专利 :CN116648618B ,2025-05-02
[3]
缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P]. 
多田扩太郎 ;
杉浦彰彦 .
中国专利 :CN110959114A ,2020-04-03
[4]
缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P]. 
大西孝明 .
中国专利 :CN101101266A ,2008-01-09
[5]
缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P]. 
饭星允规 ;
池田佳士郎 ;
田坂隆弘 ;
小野田繁 .
中国专利 :CN104937408B ,2015-09-23
[6]
缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P]. 
江川弘一 ;
中田雅博 .
中国专利 :CN103575737B ,2014-02-12
[7]
缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P]. 
田所彩郁 .
日本专利 :CN118674671A ,2024-09-20
[8]
缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P]. 
吉田康纪 ;
田窪健二 ;
畠堀贵秀 .
中国专利 :CN114930168A ,2022-08-19
[9]
缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P]. 
池田佳士郎 ;
田坂隆弘 ;
饭星允规 .
中国专利 :CN104755920A ,2015-07-01
[10]
缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P]. 
江川弘一 ;
中田雅博 .
中国专利 :CN104007116B ,2014-08-27
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