MOCVD自动控制器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310408518.4

申请日：

2013-09-10

公开(公告)号：

CN103451629A

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

叶益修邓顺达林溪汉

申请人：

申请人地址：

272000 山东省济宁市高新区崇文大道6688号(联电工业园)

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C1618 C30B2516

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/52 申请日:20130910 授权公告日:20160706 终止日期:20190910
2014-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581572710 IPC(主分类):C23C 16/52 专利申请号:2013104085184 申请日:20130910
2016-07-06	授权	授权
2013-12-18	公开	公开

共 50 条

[1]

自动控制器机箱以及自动控制器 [P].

刘海涵 ;

廉俊威 .

中国专利 :CN214592247U ,2021-11-02

[2]

自动控制器机箱以及自动控制器 [P].

张琪 ;

王科伟 ;

段文 ;

汪志彬 .

中国专利 :CN203301882U ,2013-11-20

[3]

自动控制器 [P].

钟勇 .

中国专利 :CN303133162S ,2015-03-18

[4]

自动控制器 [P].

安德烈·格罗特 ;

贝恩德·普尔温斯 ;

弗兰克-乌尔里希·索默 .

中国专利 :CN302881857S ,2014-07-16

[5]

输液自动控制器 [P].

陈国栋 ;

赵文辉 .

中国专利 :CN2798965Y ,2006-07-26

[6]

水泵自动控制器 [P].

刘德林 .

中国专利 :CN203453076U ,2014-02-26

[7]

温湿自动控制器 [P].

许友田 .

中国专利 :CN2748962Y ,2005-12-28

[8]

湿度自动控制器 [P].

魏龙华 .

中国专利 :CN102812890A ,2012-12-12

[9]

阀门自动控制器 [P].

邵志坤 .

中国专利 :CN2530119Y ,2003-01-08

[10]

温度自动控制器 [P].

沈孝平 .

中国专利 :CN1584768A ,2005-02-23

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