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掩膜板及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810548580.6
申请日：
2018-05-31
公开(公告)号：
CN108611597A
公开(公告)日：
2018-10-02
发明(设计)人：
胡小强
秦芹
王亚
申请人：
申请人地址：
065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
唐清凯
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-10-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20180531 |
| 2018-10-02 | 公开 | 公开 |
| 2020-04-03 | 授权 | 授权 |