膜形成装置、膜形成方法及压电致动器的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610125620.3

申请日：

2006-08-24

公开(公告)号：

CN1920094B

公开(公告)日：

2007-02-28

发明(设计)人：

安井基博明渡纯

申请人：

申请人地址：

日本爱知县名古屋市

IPC主分类号：

C23C2400

IPC分类号：

B41J216

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

钟强;关兆辉

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101673066897 IPC(主分类):C23C 24/00 专利号:ZL2006101256203 变更事项:专利权人变更前权利人:兄弟工业株式会社变更后权利人:独立行政法人产业技术综合研究所变更事项:地址变更前权利人:日本爱知县名古屋市变更后权利人:日本东京都变更事项:专利权人变更前权利人:独立行政法人产业技术综合研究所变更后权利人:无登记生效日:20131025
2021-08-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 24/00 申请日:20060824 授权公告日:20100512 终止日期:20200824
2007-02-28	公开	公开
2010-05-12	授权	授权
2008-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

压电致动器和制造压电致动器的方法 [P].

J.E.小阿博特 ;

C-H.陈 ;

J.R.波拉德 .

中国专利 :CN104245324B ,2014-12-24

[2]

压电致动器以及压电致动器的制造方法 [P].

各务克己 .

中国专利 :CN105459600A ,2016-04-06

[3]

压电致动器以及压电致动器的制造方法 [P].

山本观照 ;

山本悌二 ;

掘露伊保龙 .

中国专利 :CN102859734B ,2013-01-02

[4]

压电致动器的制造方法 [P].

古池晴信 ;

四十物孝宪 ;

中山雅夫 ;

高部本规 ;

角浩二 ;

板山泰裕 ;

清水稔弘 .

中国专利 :CN112993145A ,2021-06-18

[5]

压电致动器的制造方法 [P].

神户雅人 ;

山冈卓实 .

中国专利 :CN102237487A ,2011-11-09

[6]

压电致动器制造方法 [P].

王桂芹 ;

刘晓蕾 ;

马赫穆德·萨米 ;

王宇峰 .

中国专利 :CN113272982A ,2021-08-17

[7]

压电致动器制造方法 [P].

王桂芹 ;

刘晓蕾 ;

马赫穆德·萨米 ;

王宇峰 .

中国专利 :CN113272982B ,2024-06-14

[8]

压电致动器、喷墨头以及压电致动器的制造方法 [P].

岩下修三 .

中国专利 :CN104185555B ,2014-12-03

[9]

丝网印刷形成厚层的方法和形成喷墨头压电致动器的方法 [P].

李教烈 ;

李泰京 ;

郑在佑 ;

李华善 ;

林承模 .

中国专利 :CN101024353A ,2007-08-29

[10]

压电致动器装置及其制造方法 [P].

坂元隆己 ;

稻垣正祥 ;

哈拉尔-约翰尼斯·卡斯特尔 ;

卡斯滕·舒 ;

伯恩哈德·德尔加斯特 ;

越智笃 .

中国专利 :CN101563795B ,2009-10-21

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