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键合金丝超声波清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320216415.3
申请日：
2013-04-20
公开(公告)号：
CN203209367U
公开(公告)日：
2013-09-25
发明(设计)人：
田鹏
赵峰
周峰
申请人：
申请人地址：
277500 山东省滕州市经济开发区益康大道西侧
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-09-25 | 授权 | 授权 |
| 2017-06-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101724762222 IPC(主分类):B08B 3/12 专利号:ZL2013202164153 申请日:20130420 授权公告日:20130925 终止日期:20160420 |