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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-08-21 | 授权 | 授权 |
| 2021-05-21 | 专利权的无效、部分无效宣告 | 专利权全部无效 IPC(主分类):G03F 9/00 授权公告日:20130821 无效宣告决定日:20200918 无效宣告决定号:46174 |
| 2015-03-11 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101711496416 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2013201503672 登记号:2014340000009 登记生效日:20141223 出质人:苏州微影光电科技有限公司 质权人:安徽国元融资担保有限公司 实用新型名称:一种PCB曝光机内层线路板对位装置 申请日:20130329 授权公告日:20130821 |
| 2017-05-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101751600610 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2013201503672 变更事项:专利权人 变更前:苏州微影光电科技有限公司 变更后:苏州微影激光技术有限公司 变更事项:地址 变更前:215000 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路 变更后:215000 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路 |
| 2016-02-24 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的注销 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101728442589 IPC(主分类):G03F 9/00 授权公告日:20130821 申请日:20130329 专利号:ZL2013201503672 登记号:2014340000009 出质人:苏州微影光电科技有限公司 质权人:安徽国元融资担保有限公司 解除日:20160128 |