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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-02 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20110614 授权公告日:20120201 |
| 2017-08-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757774723 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2011202001477 变更事项:专利权人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号 变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号 |
| 2012-02-01 | 授权 | 授权 |