一种曝光系统及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410555531.7

申请日：

2014-10-17

公开(公告)号：

CN104298079A

公开(公告)日：

2015-01-21

发明(设计)人：

张逵

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599222806 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014105555317 申请日:20141017
2016-11-30	授权	授权
2021-09-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20141017 授权公告日:20161130 终止日期:20201017
2015-01-21	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光方法及曝光系统 [P].

廖绍良 ;

胡传武 ;

张雷 .

中国专利 :CN111999990B ,2020-11-27

[2]

曝光系统及曝光方法 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN113759672B ,2024-06-11

[3]

曝光系统及曝光方法 [P].

陈右儒 ;

陈骏腾 ;

曾耀腾 ;

高振宽 .

中国专利 :CN106773329A ,2017-05-31

[4]

曝光系统及曝光方法 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN113759672A ,2021-12-07

[5]

曝光系统及曝光方法 [P].

孙俊阳 ;

张飞扬 ;

王彦飞 ;

韩晓艳 ;

李运锋 .

中国专利 :CN118732408A ,2024-10-01

[6]

曝光装置、曝光系统及曝光方法 [P].

万冀豫 ;

吴洪江 ;

黄常刚 ;

王耸 ;

张继凯 .

中国专利 :CN103353710A ,2013-10-16

[7]

曝光系统、曝光装置及曝光方法 [P].

蓝科 ;

戈亚萍 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN107092166A ,2017-08-25

[8]

一种曝光方法及曝光系统 [P].

于亮 ;

徐兵 ;

陈文枢 ;

陈烈 .

中国专利 :CN113359399B ,2021-09-07

[9]

曝光系统及曝光系统的降温方法 [P].

赵鹏 ;

陈超 ;

任轩达 .

中国专利 :CN113917804A ,2022-01-11

[10]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

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