掩膜组件及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911303590.4

申请日：

2019-12-17

公开(公告)号：

CN110923626A

公开(公告)日：

2020-03-27

发明(设计)人：

李吉东徐鹏赵建成

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

王辉;阚梓瑄

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	授权	授权
2020-04-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20191217
2020-03-27	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜板及其制作方法、掩膜组件 [P].

林治明 ;

王震 .

中国专利 :CN106086785B ,2016-11-09

[2]

掩膜组件及其制作方法 [P].

齐英旭 ;

卓林海 ;

王亚 ;

于上智 ;

田斌 ;

郭宏伟 .

中国专利 :CN113403575A ,2021-09-17

[3]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

刘明星 ;

王徐亮 ;

高峰 ;

张玄 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21

[4]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

周丽芳 ;

刘明星 ;

王徐亮 .

中国专利 :CN108642441A ,2018-10-12

[5]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120519804A ,2025-08-22

[6]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120464965A ,2025-08-12

[7]

掩膜板组件及其制作方法 [P].

肖磊芳 ;

马国强 ;

徐鹏 ;

赵建成 .

中国专利 :CN111074205B ,2020-04-28

[8]

掩膜板的制作方法、掩膜板及掩膜组件 [P].

张丁成 .

中国专利 :CN120330659A ,2025-07-18

[9]

掩膜板及其制作方法 [P].

关新兴 ;

毕娜 ;

刘华猛 ;

刘佳宁 ;

白珊珊 ;

李彦松 ;

曾琪皓 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114752889A ,2022-07-15

[10]

掩膜板及其制作方法 [P].

袁鹏程 ;

翟中远 ;

王永茂 ;

曾望明 ;

张文畅 .

中国专利 :CN109628881A ,2019-04-16

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