钽、铌管状靶材生产方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011337995.2

申请日：

2020-11-25

公开(公告)号：

CN112593195A

公开(公告)日：

2021-04-02

发明(设计)人：

柴正伍

申请人：

申请人地址：

722405 陕西省宝鸡市岐山县蔡家坡镇百万平方米工业园1号厂房

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

B22F310 B22F318 B22F324 B22F510

代理机构：

西安尚睿致诚知识产权代理事务所(普通合伙) 61232

代理人：

何凯英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20201125

共 50 条

[1]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572225A ,2014-02-12

[2]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572223A ,2014-02-12

[3]

一种溅射用铌管状靶材的制备方法 [P].

王国栋 ;

林小辉 ;

梁静 ;

李来平 .

中国专利 :CN102489951A ,2012-06-13

[4]

一种磁控溅射用管状铌靶材的制备方法 [P].

杜永成 ;

王歆锐 ;

樊雅丽 .

中国专利 :CN102794617A ,2012-11-28

[5]

磷化钽靶材的生产工艺 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN113754437A ,2021-12-07

[6]

磷化铌靶材的生产工艺 [P].

舒小敏 ;

吴文斌 .

中国专利 :CN113979749A ,2022-01-28

[7]

一种低氧钼铌合金靶材的生产方法 [P].

陈兴友 .

中国专利 :CN110421158A ,2019-11-08

[8]

铌管靶材的制造方法 [P].

穆健刚 ;

张凤戈 ;

马志伟 ;

文彬 ;

王江廷 ;

李建奎 ;

刘健 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN104651787A ,2015-05-27

[9]

高纯钽靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

周友平 .

中国专利 :CN102517531A ,2012-06-27

[10]

一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104973864A ,2015-10-14

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