显影液的浓度监视装置及显影液管理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711232546.X

申请日：

2017-11-29

公开(公告)号：

CN108345182A

公开(公告)日：

2018-07-31

发明(设计)人：

中川俊元

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

G03F732 G03D300

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王婷

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/30 申请公布日:20180731
2019-06-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20171129
2018-07-31	公开	公开

共 50 条

[1]

显影液的浓度监视装置及显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108345185A ,2018-07-31

[2]

显影液的成分浓度测定装置及显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108344778A ,2018-07-31

[3]

显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108345183A ,2018-07-31

[4]

显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108345186A ,2018-07-31

[5]

显影液成分浓度测定装置及方法、显影液管理装置及方法 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN106371297A ,2017-02-01

[6]

显影液成分浓度测定方法及装置、显影液管理方法及装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN106371296A ,2017-02-01

[7]

显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液 [P].

高崎纪博 ;

杉本建二 ;

棚桥亮太 ;

板东嘉文 ;

能谷敦子 ;

谷口克人 .

中国专利 :CN103852978B ,2014-06-11

[8]

显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液 [P].

高崎纪博 ;

杉本建二 ;

棚桥亮太 ;

板东嘉文 ;

能谷敦子 ;

谷口克人 .

中国专利 :CN101563654A ,2009-10-21

[9]

显影液的管理方法及装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN106371295A ,2017-02-01

[10]

显影液制造装置及显影液制造方法 [P].

中川俊元 ;

菊川诚 ;

小川修 ;

森田悟 ;

宝山隆博 .

中国专利 :CN1237398C ,2002-10-09

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