一种酸性蚀刻液再生循环装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711453595.6

申请日：

2017-12-28

公开(公告)号：

CN109972138A

公开(公告)日：

2019-07-05

发明(设计)人：

罗宝奎陈永江

申请人：

申请人地址：

510700 广东省广州市黄埔区沙步大路17号503房

IPC主分类号：

C23F146

IPC分类号：

C23F108 C22B700 C22B1500 C25C112

代理机构：

北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515

代理人：

朱庆华

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F 1/46 申请公布日:20190705
2019-07-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种酸性蚀刻液再生循环方法 [P].

罗宝奎 ;

陈永江 .

中国专利 :CN109972139A ,2019-07-05

[2]

一种酸性蚀刻液循环再生装置 [P].

陈仁华 ;

聂国勇 ;

李建立 .

中国专利 :CN210657139U ,2020-06-02

[3]

一种酸性蚀刻液再生方法 [P].

郑健成 ;

周建新 ;

戴中辉 ;

关家彬 ;

叶保基 .

中国专利 :CN110106506A ,2019-08-09

[4]

酸性蚀刻液循环再生设备 [P].

韦建敏 ;

赵兴文 ;

张小波 ;

张晓蓓 ;

吴圣杰 .

中国专利 :CN103628071A ,2014-03-12

[5]

酸性蚀刻液循环再生设备 [P].

韦建敏 ;

赵兴文 ;

张小波 ;

张晓蓓 ;

吴圣杰 .

中国专利 :CN202730242U ,2013-02-13

[6]

酸性蚀刻液循环再生装置 [P].

徐刚 ;

杨伟宏 .

中国专利 :CN215404540U ,2022-01-04

[7]

再生酸性蚀刻液、酸性蚀刻液及酸性蚀刻液再生方法 [P].

张伟奇 ;

李再强 ;

黄文涛 ;

梁民 .

中国专利 :CN113957440A ,2022-01-21

[8]

一种酸性蚀刻液再生循环使用铜回收设备 [P].

陈灏康 .

中国专利 :CN106637216A ,2017-05-10

[9]

一种酸性蚀刻液再生循环使用铜回收设备 [P].

陈灏康 .

中国专利 :CN206529526U ,2017-09-29

[10]

酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置 [P].

贺光明 ;

秦永明 ;

颜健峰 ;

方志荣 .

中国专利 :CN102286746B ,2011-12-21

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