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一种高精确度的薄膜厚度测量装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821033373.9
申请日：
2018-07-02
公开(公告)号：
CN208505182U
公开(公告)日：
2019-02-15
发明(设计)人：
王平
申请人：
申请人地址：
410003 湖南省长沙市开福区洪山路98号
IPC主分类号：
G01B506
IPC分类号：
代理机构：
泰州地益专利事务所 32108
代理人：
谭建成
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-02-15 | 授权 | 授权 |
| 2020-06-23 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 5/06 申请日:20180702 授权公告日:20190215 终止日期:20190702 |