一种高温低压扩散装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520313986.8

申请日：

2015-05-15

公开(公告)号：

CN204668282U

公开(公告)日：

2015-09-23

发明(设计)人：

方结彬秦崇德石强黄玉平何达能陈刚

申请人：

申请人地址：

528100 广东省佛山市三水工业园区C区69号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

胡枫

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-23	授权	授权
2018-07-06	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:广东爱康太阳能科技有限公司变更后:广东爱旭科技股份有限公司变更事项:地址变更前:528100 广东省佛山市三水工业园区C区69号变更后:528100 广东省佛山市三水工业园区C区69号

共 50 条

[1]

一种高温低压的硅片扩散方法 [P].

方结彬 ;

秦崇德 ;

石强 ;

黄玉平 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN104882516A ,2015-09-02

[2]

一种低压高温扩散炉 [P].

秦崇德 ;

方结彬 ;

石强 ;

黄玉平 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN205347629U ,2016-06-29

[3]

一种改进型高温扩散装置 [P].

董方 ;

孙涌涛 ;

胡玉婷 ;

叶静 .

中国专利 :CN204204891U ,2015-03-11

[4]

一种自动高温扩散装置 [P].

蔡伦 .

中国专利 :CN205529149U ,2016-08-31

[5]

硼扩散装置 [P].

严佩佩 ;

简磊 ;

黄剑 ;

王榕 .

中国专利 :CN223428823U ,2025-10-10

[6]

一种扩散装置 [P].

杨钰锦 ;

林启桃 ;

陈磊磊 ;

饶益龙 ;

林志强 ;

章俊华 ;

张原 ;

林春源 ;

王建春 .

中国专利 :CN211601617U ,2020-09-29

[7]

一种高温扩散装置 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN205635863U ,2016-10-12

[8]

扩散装置 [P].

严佩佩 ;

王榕 .

中国专利 :CN120043351A ,2025-05-27

[9]

一种硼扩散装置 [P].

李铁 ;

李杨 .

中国专利 :CN213150732U ,2021-05-07

[10]

一种气体扩散装置 [P].

邵学 ;

李建华 ;

李向东 .

中国专利 :CN207540013U ,2018-06-26

← 1 2 3 4 5 →