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一种新型热式气体质量流量控制器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121412841.5
申请日：
2021-06-24
公开(公告)号：
CN215374091U
公开(公告)日：
2021-12-31
发明(设计)人：
赵胜义
王骏
申请人：
申请人地址：
201800 上海市嘉定区南翔纬五路58号2幢1楼F区
IPC主分类号：
G01F176
IPC分类号：
代理机构：
北京和联顺知识产权代理有限公司 11621
代理人：
朱守鑫
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-31 | 授权 | 授权 |