酸性镀铜液、酸性镀铜物以及半导体器件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680033574.6

申请日：

2016-11-21

公开(公告)号：

CN107636205A

公开(公告)日：

2018-01-26

发明(设计)人：

近藤和夫

申请人：

申请人地址：

日本大阪府堺市

IPC主分类号：

C25D338

IPC分类号：

C25D700 C25D712 H05K318 H05K342

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

吕琳;朴秀玉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-26	公开	公开
2020-06-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C25D 3/38 申请公布日:20180126
2018-10-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C25D 3/38 申请日:20161121

共 50 条

[1]

一种酸性镀铜液的制备方法 [P].

杨彦涛 .

中国专利 :CN104264194A ,2015-01-07

[2]

一种酸性镀铜液及其制备方法 [P].

刘杰 .

中国专利 :CN113355706A ,2021-09-07

[3]

半导体的酸性镀铜工艺整平剂的分析方法 [P].

丁惠萍 .

中国专利 :CN114858897A ,2022-08-05

[4]

一种酸性镀铜工艺以及方法 [P].

舒平 .

中国专利 :CN108085722A ,2018-05-29

[5]

一种测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法 [P].

孙建军 ;

吴升红 .

中国专利 :CN114894878A ,2022-08-12

[6]

电解镀铜液、其制造方法以及电解镀铜方法 [P].

高桥拓也 ;

石渡伸哉 ;

廿日出朋子 .

中国专利 :CN114761621A ,2022-07-15

[7]

一种测定酸性镀铜液中氯离子浓度的方法 [P].

孙建军 ;

吴升红 .

中国专利 :CN114778640A ,2022-07-22

[8]

一种测定酸性镀铜液中氯离子浓度的方法 [P].

孙建军 ;

吴升红 .

中国专利 :CN114778640B ,2024-07-09

[9]

酸性镀铜液中氯离子含量分析法 [P].

杨雪林 .

中国专利 :CN101865901A ,2010-10-20

[10]

一种粗线酸性镀铜的工艺方法 [P].

张洪峰 ;

李振建 ;

徐希超 .

中国专利 :CN118650333A ,2024-09-17

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