MEMS压力传感器制造方法及MEMS压力传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110590117.X

申请日：

2021-05-28

公开(公告)号：

CN113432777A

公开(公告)日：

2021-09-24

发明(设计)人：

朱恩成陈磊张强闫文明

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼

IPC主分类号：

G01L1300

IPC分类号：

G01L1900

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

王迎;袁文婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 13/00 申请日:20210528
2021-09-24	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS 压力传感器 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN205120298U ,2016-03-30

[2]

MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN105181217A ,2015-12-23

[3]

MEMS压力传感器 [P].

湛邵斌 ;

霍红颖 ;

胡涛 ;

高月芳 ;

王新中 .

中国专利 :CN206876312U ,2018-01-12

[4]

MEMS压力传感器 [P].

湛邵斌 ;

霍红颖 ;

胡涛 ;

高月芳 ;

王新中 .

中国专利 :CN107144378A ,2017-09-08

[5]

MEMS压力传感器 [P].

桑新文 ;

高洪连 ;

盛云 .

中国专利 :CN111928981A ,2020-11-13

[6]

MEMS压力传感器 [P].

桑新文 ;

高洪连 ;

盛云 .

中国专利 :CN212320965U ,2021-01-08

[7]

MEMS压力传感器 [P].

张睿 ;

康婷 .

中国专利 :CN105203233A ,2015-12-30

[8]

MEMS压力传感器 [P].

焦祥锟 ;

孙斌燕 ;

李晓波 ;

范泽龙 ;

焦振楠 .

中国专利 :CN117804650A ,2024-04-02

[9]

MEMS压力传感器 [P].

马菲积斯·斯维伦 ;

扬·雅各布·科宁 ;

赫尔曼·西恩拉德·威廉·贝吉林克 .

中国专利 :CN102032970A ,2011-04-27

[10]

MEMS压力传感器 [P].

焦祥锟 ;

孙斌燕 ;

李晓波 ;

范泽龙 ;

焦振楠 .

中国专利 :CN117804651A ,2024-04-02

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