改良西门子法多晶硅还原炉尾气经回收循环再利用后生产制造多晶硅的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610629901.6
申请日
2016-08-03
公开(公告)号
CN106276913A
公开(公告)日
2017-01-04
发明(设计)人
赵丽丽
申请人
申请人地址
150000 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区科技创新城企业加速器9号楼中源大道14955号1单元3层307室
IPC主分类号
C01B33035
IPC分类号
代理机构
哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109
代理人
牟永林
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备 [P]. 
王西玉 .
中国专利 :CN104556042B ,2015-04-29
[2]
一种改进的改良西门子法多晶硅还原炉底盘 [P]. 
赵丽丽 ;
宋爱利 ;
赵宏月 ;
张胜涛 .
中国专利 :CN106276915A ,2017-01-04
[3]
西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统 [P]. 
周大荣 .
中国专利 :CN201746333U ,2011-02-16
[4]
一种60对棒改良西门子法多晶硅还原炉底盘 [P]. 
赵丽丽 ;
宋爱利 ;
赵宏月 ;
张胜涛 .
中国专利 :CN106348301A ,2017-01-25
[5]
改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的回收方法 [P]. 
张新 ;
郭勇 ;
王璜 ;
尹志兵 .
中国专利 :CN102372271B ,2012-03-14
[6]
多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统 [P]. 
曹朴真 ;
周圆圆 ;
杨文鹏 ;
杨苏辉 ;
李健健 ;
宋筱江 ;
徐宝宝 ;
叶梅 ;
任刚刚 .
中国专利 :CN223150294U ,2025-07-25
[7]
多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统 [P]. 
陈英 ;
杨涛 ;
朱贵平 ;
张万军 ;
张永良 ;
李有斌 ;
张才刚 ;
吴云起 ;
郝连喜 ;
焦建新 ;
张霁 .
中国专利 :CN209065431U ,2019-07-05
[8]
改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法 [P]. 
沈祖祥 ;
王姗 ;
冉耘瑞 ;
陈建 .
中国专利 :CN105439149A ,2016-03-30
[9]
改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法 [P]. 
沈祖祥 ;
王姗 ;
冉耘瑞 ;
陈建 .
中国专利 :CN105574343A ,2016-05-11
[10]
一种改良西门子法多晶硅生产设备电源电路 [P]. 
谭兵 .
中国专利 :CN105281426A ,2016-01-27