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真空镀膜机的冷却装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822085082.0
申请日：
2018-12-12
公开(公告)号：
CN209178467U
公开(公告)日：
2019-07-30
发明(设计)人：
罗婧
谢悦
潘国威
杨富国
申请人：
申请人地址：
528000 广东省佛山市禅城区江湾一路18号佛山科学技术学院
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
代理机构：
四川省成都市天策商标专利事务所 51213
代理人：
郭会
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-30 | 授权 | 授权 |
| 2021-11-19 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20181212 授权公告日:20190730 终止日期:20201212 |