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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 1/42 申请日:20190507 |
| 2019-07-09 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-26 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G01J 1/42 变更事项:申请人 变更前:珠海市一微半导体有限公司 变更后:珠海一微半导体股份有限公司 变更事项:地址 变更前:519000 广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-514 变更后:519000 广东省珠海市横琴新区环岛东路3000号2706 |