一种碳化硅烧结炉的抽真空装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201922404075.7
申请日
2019-12-27
公开(公告)号
CN211823771U
公开(公告)日
2020-10-30
发明(设计)人
不公告发明人
申请人
申请人地址
233000 安徽省蚌埠市五河县城关镇中心村钱台2组33号
IPC主分类号
F27B505
IPC分类号
F27B506 F27D706
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种碳化硅烧结炉的抽真空装置 [P]. 
马娟娟 .
中国专利 :CN214892526U ,2021-11-26
[2]
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[3]
一种碳化硅烧结炉用抽真空装置 [P]. 
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李发光 .
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[4]
一种碳化硅烧结炉的抽真空装置 [P]. 
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邓建中 .
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[5]
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袁洪峰 ;
李志涛 ;
龚冠城 ;
龚星宇 ;
孟龙 ;
马坤 ;
徐勤龙 ;
李海洲 ;
周泽宇 ;
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[7]
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[8]
一种高温真空碳化硅烧结炉 [P]. 
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[9]
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[10]
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马红彬 ;
陈志伟 ;
李乐乐 .
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