沉积金属碳化物膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980064571.2

申请日：

2019-08-27

公开(公告)号：

CN112789706A

公开(公告)日：

2021-05-11

发明(设计)人：

拉克马尔·C·卡拉塔拉格杰弗里·W·安西斯马克·沙丽戴维·汤普森林永景陈世忠

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-11	公开	公开
2021-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20190827

共 50 条

[1]

沉积过渡金属碳化物的方法和系统 [P].

T·哈坦帕 ;

P·鲁伊兹耶卡克凯宁 ;

M·瑞塔拉 ;

A·维赫瓦拉 ;

M·普特科宁 .

:CN118497705A ,2024-08-16

[2]

金属碳化物的制造方法、金属碳化物粉末和金属碳化物中间体分散液 [P].

松尾贤 ;

荷方惣一朗 ;

元野隆二 ;

原周平 .

日本专利 :CN120379934A ,2025-07-25

[3]

一种制备金属碳化物或碳包覆金属碳化物的方法 [P].

王红娟 ;

钟国玉 ;

彭峰 ;

余皓 .

中国专利 :CN103072987A ,2013-05-01

[4]

金属碳化物和烃的制造方法以及金属碳化物组合物 [P].

后藤琢也 ;

渡边崇 ;

铃木祐太 ;

福田晴香 ;

山田敦也 ;

矶贝智弘 ;

岸川洋介 ;

山内昭佳 .

日本专利 :CN118056036A ,2024-05-17

[5]

金属碳化物和烃的制造方法以及金属碳化物组合物 [P].

后藤琢也 ;

渡边崇 ;

铃木祐太 ;

福田晴香 ;

山田敦也 ;

矶贝智弘 ;

岸川洋介 ;

山内昭佳 .

日本专利 :CN118056035A ,2024-05-17

[6]

金属碳化物的制备方法 [P].

肖东三 ;

张宗涛 ;

王梅东 .

中国专利 :CN100355652C ,2005-01-26

[7]

溅射法沉积难熔金属碳化物纳米晶 [P].

姜洪刚 ;

佟华宇 ;

丁炳哲 ;

宋启洪 ;

胡壮麒 .

中国专利 :CN1096061A ,1994-12-07

[8]

金属碳化物及其制备方法 [P].

巴本德朗·普拉丹 ;

迪帕克·坦登 ;

罗德尼·L·泰勒 ;

保罗·B·霍夫曼 .

中国专利 :CN101027251A ,2007-08-29

[9]

金属碳化物衬底表面的处理方法及这种金属碳化物衬底 [P].

M·G·范穆斯特尔 .

中国专利 :CN1716522A ,2006-01-04

[10]

金属碳化物制品的生产 [P].

阿达姆·J·吉辛格 ;

爱德华·S·鲁斯 ;

纳拉希姆哈·S·拉哈万 ;

达尼·R·怀特 .

中国专利 :CN88100073A ,1988-08-24

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