一种MEMS光纤珐珀传感器及制作装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022825255.5
申请日
2020-11-30
公开(公告)号
CN213779067U
公开(公告)日
2021-07-23
发明(设计)人
司文荣 虞益挺 吕佳明 李浩勇 傅晨钊 姚维强 鞠登峰 吴旭涛 陆启宇 宋平 黄兴德 李秀广 何宁辉 周秀 陈川 梁基重 药炜 袁鹏
申请人
申请人地址
200122 上海市浦东新区自由贸易试验区源深路1122号
IPC主分类号
G01D5353
IPC分类号
G01H900 G03F700
代理机构
上海科盛知识产权代理有限公司 31225
代理人
赵志远
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种MEMS光纤珐珀传感器及制作装置、制作方法 [P]. 
司文荣 ;
虞益挺 ;
吕佳明 ;
李浩勇 ;
傅晨钊 ;
姚维强 ;
鞠登峰 ;
吴旭涛 ;
陆启宇 ;
宋平 ;
黄兴德 ;
李秀广 ;
何宁辉 ;
周秀 ;
陈川 ;
梁基重 ;
药炜 ;
袁鹏 .
中国专利 :CN112577534B ,2025-07-08
[2]
一种MEMS光纤珐珀传感器及制作装置、制作方法 [P]. 
司文荣 ;
虞益挺 ;
吕佳明 ;
李浩勇 ;
傅晨钊 ;
姚维强 ;
鞠登峰 ;
吴旭涛 ;
陆启宇 ;
宋平 ;
黄兴德 ;
李秀广 ;
何宁辉 ;
周秀 ;
陈川 ;
梁基重 ;
药炜 ;
袁鹏 .
中国专利 :CN112577534A ,2021-03-30
[3]
一种光纤珐珀传感器 [P]. 
冉曾令 ;
李成 ;
陈怡 ;
左红梅 ;
王彦君 ;
柳珊 .
中国专利 :CN202748041U ,2013-02-20
[4]
一种光纤珐珀磁场传感器 [P]. 
冉曾令 ;
饶云江 ;
鲁恩 .
中国专利 :CN201689165U ,2010-12-29
[5]
一种光纤珐珀传感器及其制作方法 [P]. 
冉曾令 ;
陈怡 ;
李成 ;
左红梅 ;
王彦君 ;
柳珊 .
中国专利 :CN102889901B ,2013-01-23
[6]
一种光纤珐珀电流传感器 [P]. 
冉曾令 ;
饶云江 ;
鲁恩 .
中国专利 :CN201689126U ,2010-12-29
[7]
光纤珐珀应变传感器、传感系统及传感器制作方法 [P]. 
冉曾令 ;
罗配良 ;
骆书成 ;
杨彦广 ;
戴金雯 ;
李绪国 ;
闽夫 .
中国专利 :CN104121865A ,2014-10-29
[8]
光纤珐珀应变传感器、传感系统及传感器制作方法 [P]. 
冉曾令 ;
罗配良 ;
骆书成 ;
饶云江 ;
杨彦广 ;
戴金雯 ;
李绪国 ;
闽夫 .
中国专利 :CN105066895A ,2015-11-18
[9]
基于腐蚀高掺杂光纤的珐珀传感器制作方法 [P]. 
龚元 ;
饶云江 ;
郭宇 .
中国专利 :CN101561295B ,2010-12-08
[10]
全石英光纤珐珀压力传感器 [P]. 
贾平岗 ;
熊继军 ;
房国成 ;
李哲 .
中国专利 :CN205785611U ,2016-12-07