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一种MEMS光纤珐珀传感器及制作装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202022825255.5
申请日
:
2020-11-30
公开(公告)号
:
CN213779067U
公开(公告)日
:
2021-07-23
发明(设计)人
:
司文荣
虞益挺
吕佳明
李浩勇
傅晨钊
姚维强
鞠登峰
吴旭涛
陆启宇
宋平
黄兴德
李秀广
何宁辉
周秀
陈川
梁基重
药炜
袁鹏
申请人
:
申请人地址
:
200122 上海市浦东新区自由贸易试验区源深路1122号
IPC主分类号
:
G01D5353
IPC分类号
:
G01H900
G03F700
代理机构
:
上海科盛知识产权代理有限公司 31225
代理人
:
赵志远
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-07-23
授权
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[1]
一种MEMS光纤珐珀传感器及制作装置、制作方法
[P].
司文荣
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司文荣
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虞益挺
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吕佳明
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吕佳明
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李浩勇
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姚维强
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鞠登峰
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吴旭涛
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陆启宇
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宋平
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黄兴德
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李秀广
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李秀广
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何宁辉
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梁基重
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梁基重
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药炜
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药炜
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袁鹏
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袁鹏
.
中国专利
:CN112577534B
,2025-07-08
[2]
一种MEMS光纤珐珀传感器及制作装置、制作方法
[P].
司文荣
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虞益挺
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袁鹏
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一种光纤珐珀传感器
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柳珊
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,2013-02-20
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一种光纤珐珀磁场传感器
[P].
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饶云江
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鲁恩
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一种光纤珐珀传感器及其制作方法
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一种光纤珐珀电流传感器
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鲁恩
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,2010-12-29
[7]
光纤珐珀应变传感器、传感系统及传感器制作方法
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冉曾令
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,2014-10-29
[8]
光纤珐珀应变传感器、传感系统及传感器制作方法
[P].
冉曾令
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冉曾令
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罗配良
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罗配良
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闽夫
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,2015-11-18
[9]
基于腐蚀高掺杂光纤的珐珀传感器制作方法
[P].
龚元
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[10]
全石英光纤珐珀压力传感器
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