一种SVG显影喷淋装置

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申请号
CN202221928732.3
申请日
2022-07-22
公开(公告)号
CN218223026U
公开(公告)日
2023-01-06
发明(设计)人
王鹏 周炳 徐君成
申请人
申请人地址
215600 江苏省苏州市张家港市经济技术开发区国泰北路1号科技创业园E-203室(意发功率)
IPC主分类号
B05B1302
IPC分类号
G03F730
代理机构
苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357
代理人
徐伟华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种显影液喷淋装置 [P]. 
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[2]
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[6]
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[10]
显影蚀刻喷淋装置 [P]. 
陈德和 .
中国专利 :CN213876316U ,2021-08-03