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坩埚组件、拉晶炉及拉制单晶硅棒的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111165772.7
申请日：
2021-09-30
公开(公告)号：
CN113862778A
公开(公告)日：
2021-12-31
发明(设计)人：
衡鹏 张婉婉 李阳
申请人：
申请人地址：
710065 陕西省西安市市辖区高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号：
C30B1510
IPC分类号：
C30B1504 C30B1500 C30B2906
代理机构：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253
代理人：
李斌栋;姚勇政
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-12-31 公开 公开
2022-01-21 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/10 申请日:20210930
共 50 条
[1]
一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒 [P]. 
宋振亮 ;
宋少杰 .
中国专利 :CN114318500A ,2022-04-12
[2]
一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉 [P]. 
宋振亮 ;
沈福哲 .
中国专利 :CN214142610U ,2021-09-07
[3]
一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉 [P]. 
徐鹏 ;
张婉婉 .
中国专利 :CN113862791A ,2021-12-31
[4]
一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉 [P]. 
宋振亮 ;
沈福哲 .
中国专利 :CN213835621U ,2021-07-30
[5]
一种用于生产单晶硅棒的石英坩埚、坩埚组件及拉晶炉 [P]. 
杨文武 .
中国专利 :CN114959880B ,2024-02-13
[6]
单晶硅棒拉晶装置及单晶炉 [P]. 
张先琴 ;
徐耀 ;
乔乐 .
中国专利 :CN223386283U ,2025-09-26
[7]
单晶硅拉晶方法、单晶炉及晶棒 [P]. 
李亮 ;
马玉花 ;
袁新生 .
中国专利 :CN118792732A ,2024-10-18
[8]
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置 [P]. 
邓浩 ;
韩伟 ;
杜超 .
中国专利 :CN114457411A ,2022-05-10
[9]
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置 [P]. 
韩伟 ;
杜超 ;
邓浩 ;
李侨 .
中国专利 :CN114457422A ,2022-05-10
[10]
一种用于制造单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒 [P]. 
张婉婉 ;
文英熙 .
中国专利 :CN113862777A ,2021-12-31
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