一种硅片运输装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720399083.5

申请日：

2017-04-17

公开(公告)号：

CN207116390U

公开(公告)日：

2018-03-16

发明(设计)人：

侯玉韩少鹏张春华衡阳李琰琪王钰雅郑旭然邢国强

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张海英;林波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-16	授权	授权
2022-04-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20170417 授权公告日:20180316 终止日期:20210417

共 50 条

[1]

一种硅片运输装置 [P].

周思洁 ;

曹芳 ;

叶晓亚 ;

邹帅 ;

王栩生 .

中国专利 :CN213635932U ,2021-07-06

[2]

硅片运输装置 [P].

王鹏飞 .

中国专利 :CN212810260U ,2021-03-26

[3]

一种硅片运输装置 [P].

孔法 ;

李永杰 ;

王宏波 ;

乔勇 ;

谢贤清 .

中国专利 :CN208767269U ,2019-04-19

[4]

一种硅片运输装置 [P].

侯玉 ;

张春华 ;

衡阳 ;

韩少鹏 ;

王海翔 ;

程佳 ;

杨金鑫 ;

王钰雅 ;

郑旭然 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206742264U ,2017-12-12

[5]

一种硅片运输装置 [P].

高萌 .

中国专利 :CN221718609U ,2024-09-17

[6]

一种硅片运输装置 [P].

王全志 ;

叶行方 ;

赖依烽 ;

朱盛 ;

晏文勇 ;

邓清香 ;

李林东 ;

肖贵云 ;

陈志军 ;

陈伟 ;

金浩 .

中国专利 :CN205819979U ,2016-12-21

[7]

一种硅片运输装置 [P].

王全志 ;

叶行方 ;

赖依烽 ;

朱盛 ;

晏文勇 ;

邓清香 ;

李林东 ;

肖贵云 ;

陈志军 ;

陈伟 ;

金浩 .

中国专利 :CN105857916A ,2016-08-17

[8]

一种硅片生产用运输装置 [P].

张良 ;

余刚 ;

游小华 ;

唐骏 .

中国专利 :CN214012920U ,2021-08-20

[9]

一种硅片生产用运输装置 [P].

方勇华 ;

詹玉峰 ;

陈跃华 ;

方萌 .

中国专利 :CN214001692U ,2021-08-20

[10]

一种硅片夹取运输装置 [P].

董晓清 ;

王加龙 ;

高刘 ;

白明显 ;

左于棒 .

中国专利 :CN216648270U ,2022-05-31

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