一种真空镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202022553967.6
申请日
2020-11-08
公开(公告)号
CN213507180U
公开(公告)日
2021-06-22
发明(设计)人
李健 孙宏宇 邓天容
申请人
申请人地址
341800 江西省赣州市全南县工业园二区
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
C23C1424
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[10]
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