石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310216777.7

申请日：

2013-06-03

公开(公告)号：

CN103255469A

公开(公告)日：

2013-08-21

发明(设计)人：

潘家明

申请人：

申请人地址：

071051 河北省保定市朝阳北大街3399号

IPC主分类号：

C30B1100

IPC分类号：

C30B2806 C30B2906

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

吴贵明;张永明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-21	公开	公开
2013-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101520125643 IPC(主分类):C30B 11/00 专利申请号:2013102167777 申请日:20130603
2016-11-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741823902 IPC(主分类):C30B 11/00 专利申请号:2013102167777 申请公布日:20130821

共 50 条

[1]

一种石墨电极加热器 [P].

郭爱仓 ;

王海玉 ;

宋见林 ;

王相周 ;

王海元 .

中国专利 :CN207487422U ,2018-06-12

[2]

高温退火石墨加热器电极和石墨加热器 [P].

金小桃 ;

高文波 .

中国专利 :CN209448907U ,2019-09-27

[3]

直拉单晶炉加热器用石墨电极 [P].

马少林 ;

周锐 ;

李侨 ;

毛静 .

中国专利 :CN202945365U ,2013-05-22

[4]

一种石墨加热器的电极连接装置 [P].

田党军 ;

钟小平 .

中国专利 :CN201312396Y ,2009-09-16

[5]

一种可移动石墨电极电加热器 [P].

王金镛 ;

王晓晖 ;

王晓东 ;

王大海 .

中国专利 :CN110129837A ,2019-08-16

[6]

一种可移动石墨电极电加热器 [P].

王金镛 ;

王晓晖 ;

王晓东 ;

王大海 .

中国专利 :CN110129837B ,2025-04-11

[7]

一种可移动石墨电极电加热器 [P].

王金镛 ;

王晓晖 ;

王晓东 ;

王大海 .

中国专利 :CN210341091U ,2020-04-17

[8]

双石墨电极制备纳米石墨碳溶胶的方法 [P].

孟国军 ;

刘芳德 ;

李胜南 ;

吴翔 ;

陈万哲 .

中国专利 :CN1378975A ,2002-11-13

[9]

能够有效降低硅片中碳杂质含量的加热装置及方法 [P].

徐新华 .

中国专利 :CN115233306B ,2023-02-03

[10]

石墨加热元件、石墨加热器及设计方法 [P].

杨群 ;

严超 .

中国专利 :CN109922545B ,2019-06-21

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