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保护膜覆盖方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610997931.2
申请日：
2016-11-11
公开(公告)号：
CN106952871A
公开(公告)日：
2017-07-14
发明(设计)人：
岩本拓
吉田博斗
九鬼润一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2178
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
李辉;于靖帅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/78 申请日:20161111 |
| 2022-01-25 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/78 申请公布日:20170714 |
| 2017-07-14 | 公开 | 公开 |