基板处理装置的反应器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510532716.0

申请日：

2015-08-26

公开(公告)号：

CN105386009A

公开(公告)日：

2016-03-09

发明(设计)人：

李炳一康浩荣

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-19	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20190401 变更事项:申请人变更前权利人:泰拉半导体株式会社变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:京畿道变更后权利人:韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
2017-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101744375235 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2015105327160 申请日:20150826
2016-03-09	公开	公开
2020-04-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/455 申请公布日:20160309

共 50 条

[1]

基板处理装置的反应器 [P].

朴俊圭 .

中国专利 :CN109755155A ,2019-05-14

[2]

废物处理装置的反应器 [P].

米凯·亚历山大维奇·米山尼诺夫 ;

德米特里·亚诺维奇·阿加罗夫 .

:CN116963847B ,2024-08-02

[3]

反应器、包括其的工艺处理装置及反应器制造方法 [P].

崔大圭 .

中国专利 :CN114789034A ,2022-07-26

[4]

用于烟气处理的反应器及烟气处理装置 [P].

史汉祥 .

中国专利 :CN106268234A ,2017-01-04

[5]

用于烟气处理的反应器及烟气处理装置 [P].

史汉祥 .

中国专利 :CN106178921A ,2016-12-07

[6]

用于烟气处理的反应器及烟气处理装置 [P].

史汉祥 .

中国专利 :CN206168211U ,2017-05-17

[7]

CVD反应器和用于CVD反应器的基板支架 [P].

A.博伊德 ;

D.克莱森斯 ;

H.希尔瓦 .

中国专利 :CN104053816A ,2014-09-17

[8]

用于废物处理装置反应器的感应器 [P].

米凯·亚历山大维奇·米山尼诺夫 ;

德米特里·亚诺维奇·阿加罗夫 .

:CN117881491A ,2024-04-12

[9]

基于槽型反应器的污泥处理装置 [P].

杨庆丰 ;

肖凯 ;

孙孟洋 .

中国专利 :CN117342774A ,2024-01-05

[10]

用于次氯酸反应器的盐处理装置 [P].

戈兰德·E·哈里亚德 ;

詹姆斯·K·米尔顿 ;

约翰·H·夏弗 ;

吉瑞·R·约翰逊 .

中国专利 :CN1046139A ,1990-10-17

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