一种大批量硅片移动装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201720405348.8
申请日
2017-04-18
公开(公告)号
CN207116395U
公开(公告)日
2018-03-16
发明(设计)人
侯玉 张春华 衡阳 李琰琪 郑旭然 邢国强
申请人
申请人地址
215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L21683
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
张海英;林波
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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