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激光装置、激光加工系统和电子器件的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980097927.2
申请日：
2019-08-30
公开(公告)号：
CN114072976A
公开(公告)日：
2022-02-18
发明(设计)人：
铃木章义
五十岚裕纪
申请人：
申请人地址：
日本栃木县
IPC主分类号：
H01S30941
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于英慧;崔成哲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/0941 申请日:20190830 |