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在石墨基材表面制备碳化钽涂层的方法及石墨器件

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110786031.4
申请日：
2021-07-12
公开(公告)号：
CN113549895A
公开(公告)日：
2021-10-26
发明(设计)人：
宋新风 王世杰
申请人：
申请人地址：
100094 北京市海淀区永丰路9号院3号楼A座2层中段311号
IPC主分类号：
C23C1632
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
白雪
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-12 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/32 申请日:20210712
2021-10-26 公开 公开
共 50 条
[1]
碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P]. 
杨伟锋 ;
靳彩霞 ;
朱佰喜 ;
谢柳兵 ;
王然然 .
中国专利 :CN118290180A ,2024-07-05
[2]
碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P]. 
杨伟锋 ;
靳彩霞 ;
朱佰喜 ;
谢柳兵 ;
王然然 .
中国专利 :CN118290180B ,2024-08-30
[3]
一种石墨器件表面复合碳化钽涂层及其涂覆方法 [P]. 
宋新风 ;
贺圣 .
中国专利 :CN118530055A ,2024-08-23
[4]
制备石墨基碳化钽涂层的装置及其控制方法 [P]. 
李远田 ;
张平 .
中国专利 :CN117986041A ,2024-05-07
[5]
制备石墨基碳化钽涂层的装置及其控制方法 [P]. 
李远田 ;
张平 .
中国专利 :CN117986041B ,2025-12-02
[6]
一种在石墨表面制备厚度可控碳化钽涂层的方法 [P]. 
孙威 ;
王子威 ;
熊翔 ;
冯艳 .
中国专利 :CN117645503A ,2024-03-05
[7]
一种在石墨表面制备厚度可控碳化钽涂层的方法 [P]. 
孙威 ;
王子威 ;
熊翔 ;
冯艳 .
中国专利 :CN117645503B ,2024-04-09
[8]
烧结炉和一种在石墨基体表面制备碳化钽涂层的方法 [P]. 
魏华阳 ;
赵小玻 ;
李勇 ;
李宏凯 ;
周振翔 ;
倪代秦 ;
王玉宝 ;
李丹 ;
田龙 .
中国专利 :CN115014084A ,2022-09-06
[9]
碳化钽涂层的石墨基座及其制备方法 [P]. 
陈中武 ;
李加飞 ;
何怡 ;
冯加民 .
中国专利 :CN120943671A ,2025-11-14
[10]
烧结炉和一种在石墨基体表面制备碳化钽涂层的方法 [P]. 
魏华阳 ;
赵小玻 ;
李勇 ;
李宏凯 ;
周振翔 ;
倪代秦 ;
王玉宝 ;
李丹 ;
田龙 .
中国专利 :CN115014084B ,2025-02-14
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