一种用于晶片表面平整度测量的工装

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320400814.5

申请日：

2013-07-05

公开(公告)号：

CN203325845U

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

沙恩水

申请人：

申请人地址：

300384 天津市华苑高新区海泰信息广场C座602室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	授权	授权
2015-08-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101622013416 IPC(主分类):H01L 21/66 专利号:ZL2013204008145 申请日:20130705 授权公告日:20131204 终止日期:20140705

共 50 条

[1]

一种用于晶片表面平整度测量的工装 [P].

沙恩水 .

中国专利 :CN104282588A ,2015-01-14

[2]

晶片表面平整度测量装置 [P].

沙恩水 .

中国专利 :CN203323734U ,2013-12-04

[3]

一种晶片表面平整度测量装置 [P].

沙恩水 .

中国专利 :CN203323735U ,2013-12-04

[4]

晶片表面平整度测量装置 [P].

毕燕飞 .

中国专利 :CN202473871U ,2012-10-03

[5]

晶片表面平整度测量装置 [P].

沙恩水 .

中国专利 :CN104280010A ,2015-01-14

[6]

一种晶片表面平整度测量装置 [P].

沙恩水 .

中国专利 :CN104280009A ,2015-01-14

[7]

一种家具表面平整度测量工装 [P].

金华强 .

中国专利 :CN217953390U ,2022-12-02

[8]

晶片表面平整度检测仪 [P].

吴康 ;

吴龙驹 ;

李国洪 ;

杨云松 .

中国专利 :CN207019617U ,2018-02-16

[9]

一种墙体平整度测量工装 [P].

杜国峰 ;

高强 ;

范遵奎 .

中国专利 :CN220670435U ,2024-03-26

[10]

一种用于检测混凝土构件表面平整度的测量尺 [P].

郭天惠 ;

龙志伟 ;

李再高 ;

韦生根 ;

李何 ;

向程龙 .

中国专利 :CN210981134U ,2020-07-10

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