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固晶设备及固晶方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110680675.5
申请日：
2021-06-18
公开(公告)号：
CN113539913B
公开(公告)日：
2021-10-22
发明(设计)人：
曾逸
谢启全
邓应铖
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道应人石社区文川路友晟纸业旁厂房一层
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L3348
H01L2167
代理机构：
深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481
代理人：
李俊;王旭
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20210618 |
| 2022-03-29 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-22 | 公开 | 公开 |