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一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020238511.8
申请日：
2020-03-02
公开(公告)号：
CN212025441U
公开(公告)日：
2020-11-27
发明(设计)人：
张凤戈
岳万祥
魏铁峰
缪磊
高众
姚伟
申请人：
申请人地址：
100081 北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
代理机构：
北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387
代理人：
荣红颖;冯娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-27 | 授权 | 授权 |