抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02812460.X

申请日：

2002-06-21

公开(公告)号：

CN1633628A

公开(公告)日：

2005-06-29

发明(设计)人：

前沢典明浦野文良

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

丁香兰

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-09-26	授权	授权
2005-06-29	公开	公开
2005-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101506122317 IPC(主分类):G03F 7/039 专利号:ZL02812460X 申请日:20020621 授权公告日:20070926 终止日期:20120621

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物 [P].

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

金子勇 ;

児玉俊一 .

中国专利 :CN100422853C ,2003-09-17

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

金艺灿 ;

金秀珉 ;

金珠英 ;

金珍珠 ;

金贤友 ;

朴柱铉 ;

宋炫知 ;

李松世 ;

洪锡九 .

中国专利 :CN113219787A ,2021-08-06

[3]

抗蚀剂用聚合物及抗蚀剂组合物 [P].

百濑阳 ;

大竹敦 ;

上田昭史 ;

藤原匡之 ;

竹下优 ;

林亮太郎 ;

岩井武 .

中国专利 :CN100406481C ,2006-03-08

[4]

抗蚀剂剥离组合物及利用该抗蚀剂剥离组合物剥离抗蚀剂的方法 [P].

金圣植 ;

高京俊 ;

金正铉 ;

慎蕙蠃 ;

李喻珍 .

中国专利 :CN103365121A ,2013-10-23

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN1942825B ,2007-04-04

[6]

抗蚀剂组合物 [P].

S·胡 ;

S·马格苏迪 ;

E·S·梅尔 ;

S·王 .

中国专利 :CN101048704B ,2007-10-03

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

平山拓 ;

羽田英夫 ;

藤村悟史 ;

岩井武 ;

佐藤充 ;

高须亮一 ;

立川俊和 ;

岩下淳 ;

石塚启太 ;

山田知孝 ;

高山寿一 ;

吉田正昭 .

中国专利 :CN1742234A ,2006-03-01

[8]

抗蚀剂组合物 [P].

石垣聪 ;

松木邦夫 .

中国专利 :CN1813221A ,2006-08-02

[9]

抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101900942A ,2010-12-01

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

← 1 2 3 4 5 →