表面缺陷检测装置及其检测方法

被引：0

申请号：

CN202211343587.7

申请日：

2022-10-31

公开(公告)号：

CN115575406A

公开(公告)日：

2023-01-06

发明(设计)人：

王林梓张立芳佟杰张强强马铁中

申请人：

申请人地址：

102200 北京市昌平区沙河镇昌平路97号7幢5层503-1室

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N3500

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

何世磊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	公开	公开
2023-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20221031

共 50 条

[1]

一种表面缺陷检测方法、装置及覆膜机自动光学检测设备 [P].

金国善 .

中国专利 :CN117890430A ,2024-04-16

[2]

表面缺陷检测方法及表面缺陷检测装置 [P].

大野纮明 ;

儿玉俊文 ;

腰原敬弘 ;

小川晃弘 ;

饭塚幸理 .

中国专利 :CN105849534B ,2016-08-10

[3]

表面缺陷检测方法以及表面缺陷检测装置 [P].

梅垣嘉之 ;

大野纮明 .

日本专利 :CN119895252A ,2025-04-25

[4]

表面缺陷检测方法和表面缺陷检测装置 [P].

雷富强 ;

马刘文 ;

关鹏 ;

张巍 ;

任海英 ;

李燃 ;

杨朝晖 ;

张富超 .

中国专利 :CN120655644A ,2025-09-16

[5]

表面缺陷检测装置及表面缺陷检测方法 [P].

楯真沙美 ;

大野纮明 ;

大重贵彦 .

中国专利 :CN107709977B ,2018-02-16

[6]

表面缺陷的检测方法及其装置 [P].

风间彰 ;

大重贵彦 ;

河村努 ;

的场有治 .

中国专利 :CN1434289A ,2003-08-06

[7]

表面缺陷的检测方法及其装置 [P].

风间彰 ;

大重贵彦 ;

河村努 ;

的场有治 .

中国专利 :CN1149718A ,1997-05-14

[8]

芯片崩边缺陷检测方法 [P].

张凯 ;

张鹏黎 ;

马溯 .

中国专利 :CN109991232B ,2019-07-09

[9]

表面缺陷检测装置及表面缺陷检测设备 [P].

孙立 ;

沈红佳 ;

连泽钦 .

中国专利 :CN217277922U ,2022-08-23

[10]

丝锭表面缺陷视觉检测方法及其检测装置 [P].

周奕弘 .

中国专利 :CN113533359A ,2021-10-22

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