一种喷涂式刻蚀槽

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710690141.4

申请日：

2017-08-14

公开(公告)号：

CN107301969A

公开(公告)日：

2017-10-27

发明(设计)人：

徐峰陈刚谭飞徐光葛新国

申请人：

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

C30B3310

代理机构：

昆明合众智信知识产权事务所 53113

代理人：

张玺

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170814
2017-10-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种喷涂式刻蚀槽 [P].

徐峰 ;

陈刚 ;

谭飞 ;

徐光 ;

葛新国 .

中国专利 :CN206992063U ,2018-02-09

[2]

一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置 [P].

林宝剑 ;

唐亮 ;

程寅亮 ;

关振华 ;

冯正胜 .

中国专利 :CN206992064U ,2018-02-09

[3]

一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置 [P].

林宝剑 ;

唐亮 ;

程寅亮 ;

关振华 ;

冯正胜 .

中国专利 :CN107393849A ,2017-11-24

[4]

一种刻蚀槽副槽及刻蚀槽组件 [P].

胡俊华 ;

苏旭 ;

沈聪 .

中国专利 :CN221201088U ,2024-06-21

[5]

一种刻蚀槽 [P].

王建树 ;

黄调调 ;

董焕苗 .

中国专利 :CN111029289A ,2020-04-17

[6]

一种刻蚀槽 [P].

何建 ;

郭荒 ;

赵平 ;

孔德龙 ;

赵永志 ;

岳先勇 .

中国专利 :CN201282096Y ,2009-07-29

[7]

一种刻蚀槽 [P].

王建树 ;

黄调调 ;

董焕苗 .

中国专利 :CN211208411U ,2020-08-07

[8]

一种刻蚀槽 [P].

王建树 ;

黄调调 ;

董焕苗 .

中国专利 :CN111029289B ,2024-08-09

[9]

刻蚀槽结构以及刻蚀机 [P].

王涛 ;

单伟 ;

何胜 ;

徐伟智 ;

黄海燕 .

中国专利 :CN215680625U ,2022-01-28

[10]

一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽 [P].

张临安 .

中国专利 :CN210805808U ,2020-06-19

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