加热处理装置和加热处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980019855.X

申请日：

2019-03-11

公开(公告)号：

CN111954923A

公开(公告)日：

2020-11-17

发明(设计)人：

大塚幸信相良慎一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-17	公开	公开
2021-01-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20190311

共 50 条

[1]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

大塚幸信 ;

相良慎一 .

日本专利 :CN111954923B ,2024-07-30

[2]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

大塚幸信 ;

相良慎一 .

日本专利 :CN118888474A ,2024-11-01

[3]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

岩坂英昭 ;

水永耕市 ;

林田贵大 .

日本专利 :CN117976574A ,2024-05-03

[4]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

冈田民雄 ;

重光硕 ;

佐佐木忠男 ;

吉川英雄 ;

白川克行 ;

岸田了一 ;

竹内晋之介 ;

大须贺繁 ;

大泽文明 .

中国专利 :CN101031766B ,2007-09-05

[5]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

河西繁 ;

三浦仁嗣 .

中国专利 :CN105027670A ,2015-11-04

[6]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

岩坂英昭 ;

水永耕市 ;

林田贵大 .

中国专利 :CN109545709A ,2019-03-29

[7]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

池田伸一 ;

仁衡琢磨 ;

高梨宏一 ;

真野泰広 .

中国专利 :CN105378194A ,2016-03-02

[8]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

水田诚人 ;

川路辰也 ;

中野圭悟 .

中国专利 :CN105702603B ,2016-06-22

[9]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

岩坂英昭 ;

水永耕市 ;

林田贵大 .

日本专利 :CN109545709B ,2024-02-06

[10]

加热处理装置以及加热处理方法 [P].

高木慎介 ;

久我恭弘 ;

大塚幸信 ;

相良慎一 .

中国专利 :CN112185847A ,2021-01-05

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