一种硅片清洗筐自动上料机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201620231366.4
申请日
2016-03-23
公开(公告)号
CN205609493U
公开(公告)日
2016-09-28
发明(设计)人
信广志
申请人
申请人地址
300000 天津市宝坻区黄庄镇产业功能区一号路东4号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L21683 H01L2167
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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