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布气结构及具有其的反应腔体组件
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920328293.4
申请日：
2019-03-14
公开(公告)号：
CN210001919U
公开(公告)日：
2020-01-31
发明(设计)人：
冯鑫彬
贾晓霞
李琳琳
曹志强
宋士佳
陈光羽
申请人：
申请人地址：
102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
张亚辉
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-12 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/34 登记生效日:20210202 变更事项:专利权人 变更前权利人:东泰高科装备科技有限公司 变更后权利人:紫石能源有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室 变更后权利人:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611 |
| 2020-01-31 | 授权 | 授权 |