基于小频差与光束分离的激光外差干涉测量方法与装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210347061.6

申请日：

2012-09-19

公开(公告)号：

CN102853770A

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

谭久彬刁晓飞胡鹏程杨千惠白洋

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G01B1104

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-02	公开	公开
2015-10-07	授权	授权
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395929248 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2012103470616 申请日:20120919

共 50 条

[1]

基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103743336A ,2014-04-23

[2]

基于角锥棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

胡鹏程 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN103743346A ,2014-04-23

[3]

基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刁晓飞 ;

胡鹏程 ;

杨千惠 ;

白洋 .

中国专利 :CN102865820A ,2013-01-09

[4]

高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刁晓飞 ;

胡鹏程 ;

白洋 ;

杨千惠 .

中国专利 :CN102853769A ,2013-01-02

[5]

光路平衡型高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刁晓飞 ;

胡鹏程 ;

白洋 ;

杨千惠 .

中国专利 :CN102865821A ,2013-01-09

[6]

小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 [P].

谭久彬 ;

刁晓飞 ;

胡鹏程 ;

杨千惠 ;

白洋 .

中国专利 :CN102853771A ,2013-01-02

[7]

基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法 [P].

付海金 ;

苏晓博 ;

于亮 ;

胡鹏程 ;

刘熙正 ;

杨欣 .

中国专利 :CN117553675A ,2024-02-13

[8]

基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法 [P].

付海金 ;

苏晓博 ;

于亮 ;

胡鹏程 ;

刘熙正 ;

杨欣 .

中国专利 :CN117553675B ,2024-05-07

[9]

一种四光束结构激光外差干涉滚转角测量装置及方法 [P].

王昭 ;

齐静雅 ;

黄军辉 ;

高建民 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN110849293A ,2020-02-28

[10]

反射式相位正交单频激光干涉测量装置及测量方法 [P].

乐燕芬 ;

金施嘉珞 ;

金涛 .

中国专利 :CN110487173B ,2019-11-22

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