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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-10-14 | 授权 | 授权 |
| 2013-09-18 | 公开 | 公开 |
| 2013-10-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101531541315 IPC(主分类):G01J 5/14 专利申请号:2013102117706 申请日:20130531 |
| 2020-06-12 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01J 5/14 登记生效日:20200525 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京中科微投资管理有限责任公司 变更后权利人:中科芯未来微电子科技成都有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号15幢328室 变更后权利人:610200 四川省成都市双流区东升街道成都芯谷产业园区集中区内 |
| 2020-05-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01J 5/14 登记生效日:20200430 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:北京中科微投资管理有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:100083 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号15幢328室 |